质量流量设备#初开发于1960年代，是系统中的重要组件，该系统可生成校准各种气体分析仪器所需的特殊气体标准。质量流量设备会产生与气体质量流量成正比的信号。
气体的比热对于每种气体都是非常好的，因此质量流量设备基本上与样品的温度和/或压力的任何潜在波动无关。因此可以确定，由质量流量装置产生的信号既高度稳定又准确。
如果将来自质量流量设备的信号用于确定流量，则将其表示为质量流量计（MFM），而如果将来自质量流量设备的信号与控制阀和参考信号一起使用，则将其分组作为质量流量控制器（MFC）。
当将许多MFC进行电子控制在指定的严格限制内并彼此并行运行时，根据称为“动态混合”的填充技术的基本原理，生成的气体混合物将非常准确。
动态混合
从校准气体生产商处订购合格的气体混合物时，交货时间和价格是两个重要的考虑因素，因为这些因素会影响分析仪器的校准幅度。当紧急程度和体积是满足指定校准需求的关键考虑因素时，购买差压变送器可能比购买校准气体更具成本效益。
与创建校准标准的其他类型的系统相比，差压变送器能够在大多数情况下以较低的成本和较高的精度快速生产#终产品。一些差压变送器用于创建混合物，用于校准环境空气污染物监测器，还能够产生精que的臭氧水平，随后可将其用于各种氮氧化物（NOx）的校准以及需要气相滴定的环境臭氧监测器与臭氧。
许多因素都有可能影响基于MFC的差压变送器的整体精度，其范围可能从MFC的#初选择到#终用户在操作和维护设备时所采取的谨慎态度。
合格和选择差压变送器的质量流量控制器
流量变送器是质量流量控制器#重要的组件之一，类似于MFC是高精度气体混合器重要组成部分的方式。热质量流量控制器是用于控制和测量质量流量的#常用和标准的方法，因为这种类型的设备可以测量随着热量与气体之间的热传递而发生在小管中的温度变化（或差异）。
为气体混合器选择MFC时，应检查制造商提供的变送器数据，以确保其具有长期的可重复性和稳定性。为了确保气体混合器内没有潜在的固有缺陷，制造商需要提供有关所用变送器类型的任何相关研究数据。
流量控制器的校准应与将要分析的工艺气体一起执行，但这并不总是可能的。如果无法使用过程气体进行校准，则可以使用替代气体作为替代气体，在此期间，应使用转换系数（K）以确保通过MFC的流量相对于过程气体的准确性。
差压变送器的制造商必须确认MFC设备供应商已为适当地开发和评估K因子投入了足够的时间，对于所有使用的气体，K因子理想地应凭经验得出在使用搅拌机时。
气体混合器制造商涉及的#关键的步骤是选择MFC，该设备将用于评估每个合格制造商在几个月内评估的一组MFC。在此过程中要分析的#重要的特性包括稳定性，可重复性以及短期和长期漂移。
开发和制造精que的差压变送器
使用高度精que的MFC只是开发精que的气体混合器所需过程的一个方面，而第二个方面则涉及该公司开发与验证准确性链有关的控件和软件的能力。如果使用通过模拟电压控制的MFC，则仪器设计中应至少包含12位ADC和DAC。
同样重要的是，精密基准电压的精度也应直接应用于这些设备。以12位的分辨率，将0.0012 VDC的增量应用于MFC，以获得精que控制。
此外，MFC和设备均应获得CE认证，以确保仪器不会受到电干扰。该系统还应该使用MFC的316 SS电抛光管和配件进行设计。替代的密封件和管道材料也可能与不同类型的气体兼容。通过适当选择这些各种组件，可以节省大量资金。
用于控制气体混合器的软件的开发必须shou先对改善MFC规格感兴趣，因为一些使用热质量流量控制器的混合器制造商因安装MFC而臭名昭著，因为它是从制造商那里获得的，而wuxu执行任何其他校准。
如果用户依靠MFC制造商规格的准确性而不进行自己的验证过程，则其气体搅拌器可能会出现规格错误。好的气体搅拌机制造商将始终利用校准标准实验室来验证MFC的出厂规格。
仔细检查流量标准
应当使用规格为读数的0.2％或更高的精que流量测量仪器来校准安装在气体混合器中的每个MFC。在气体标准仪上至少应收集11个校准读数，以使用气体混合器获得#高和#准确的结果。然后应将校准数据输入到气体校准器软件中，以备将来用作参考表。
此后，应使用混合器软件应用流校正算法（例如线性插值模型）来增强MFC的线性和准确性。气体混合器应配备一个选件，以允许用惰性气体吹扫整个气体路径。相同的原理应适用于K因子校正。
选择了MFC制造商后，搅拌器控制软件应使用制造商的K因子库对采用替代气体的情况进行适当的校正。
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