一、电容式压力变送器

 

原理：电容压力变送器有一个可变电容的传感组件，该传感器是一个完全封闭的组件，过程压力、差压通过隔离膜片和灌充硅油传到传感膜片引起位移，传感膜片和两电容极板之间的电容差由电子部件转换成4-20ma电流信号。

 

简单的说，压力引起电容的变化。

 

其优点为：可以做到极低压力；抗过载能力强；精度高。缺点为：高压测量缺乏优势；传感器封装工艺要求高。

 

电容式如下图所示：

 

二、扩散硅式压力变送器

 

扩散硅式压力变送器原理：被测介质的压力直接作用于传感器的扩散硅膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微小位移。在正常状态下，膜片#大位移不大于0.025mm，电子线路检测这一位移量后，即把这一位移量转化成4-20ma信号。

 

简单的说，压力引起电阻的变化。

 

超压时膜片直接贴到坚固的扩散硅上，由于膜片和基体的间隙只有0.1mm，因此过压时膜片的#大位移也只有0.1mm，所以从结构上保证了膜片不会产生过大的变形，该传感器具有很好的稳定性和高精度。

 

其优点是：稳定性高，每年优于0.1%FS；温度偏移小，由于取消了测量元件中的液体，因此传感器能够获得很高的精度；价格便宜。缺点是：低于0℃或高于85℃难以正常使用；不能承受动态压力；膜片易损坏；不适用20MPa以上的压力。

 

扩散硅式如下图所示：